潔凈室空氣污染控制：高效過濾器（HEPA）重要性及檢漏方法和標準
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- 作者：1
- 來源：利菲爾特
- 發布時間：2023-09-09
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潔凈室空氣污染控制：高效過濾器（HEPA）重要性及檢漏方法和標準
【概要描述】潔凈室需要空氣過濾器，以防止污染物通過其暖通空調系統進入潔凈室。潔凈室是受控制的環境，其中溫度/濕度、壓力和顆粒物的控制對于最佳操作性能至關重要。潔凈室是根據特定工藝所需的清潔度進行設計的。在進行微芯
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高效過濾器在潔凈室的作用：
潔凈室需要空氣過濾器，以防止污染物通過其暖通空調系統進入潔凈室。潔凈室是受控制的環境，其中溫度/濕度、壓力和顆粒物的控制對于最佳操作性能至關重要。潔凈室是根據特定工藝所需的清潔度進行設計的。在進行微芯片制造的半導體行業中，空氣過濾具有更高的效率，因為微芯片對顆粒非常敏感，尤其是在處理晶片時會楔入晶片上導電電路之間的小顆粒。
高效微粒空氣過濾器（HEPA）-這些過濾器在污染控制方面非常有效。它們過濾小到0.3微米的顆粒，廣泛用于制藥設施。ULPA（超高顆粒空氣過濾器）可過濾0.12微米以下的顆粒，廣泛用于半導體設備。
通過幾個活動管理潔凈室內的污染控制高效空氣過濾器或UPLA過濾器在潔凈室中的作用至關重要。高效微粒空氣（HEPA）過濾器的效率最高必須達到99.97%穿透顆粒，0.3微米。該效率評級由美國能源部于以成為真正的高效空氣過濾器。
根據大多數美國人采用的美國能源部（DOE）標準的定義工業中，高效空氣過濾器在直徑過濾器對氣流的最小阻力或壓降通常規定在300帕斯卡（0.044磅/平方英寸）。
歐盟使用的規范：歐洲標準EN 1822-1:2009定義了HEPA過濾器的類別，通過其在給定的最具穿透性的顆粒尺寸（MPPS）下的保持力。
根據GMP，過濾器必須無泄漏。根據ISO 14644-3，通過鑒定和定期進行泄漏測試來驗證這一點。高效空氣過濾器結構、性能、標簽和認證的推薦做法由環境科學研究所維護以及美國保險商實驗室（UL）。主要要求包括：
■ IEST-RP-C021“測試HEPA和ULPA介質，該介質管理過濾器的要求媒體
■ IEST-RP-CC001“高效微粒空氣過濾器和超微粒空氣過濾器”，管理整個過濾器結構和標簽要求
■ IEST-RP-C034“HEPA和ULPA過濾器泄漏測試，適用于HEPA和UL PA過濾器滲透（泄漏）試驗
■ 符合UL900可燃性要求的測試和認證
■ 美國標準MIL-STD-282
其他測試標準包括：
■ ISO 14644-3試驗方法——合格者在安裝過濾器泄漏試驗過程中使用
■ ISO 29463（2017）-用于去除空氣中顆粒的高效過濾器和過濾介質
■ ISO 16890（2017）-一般通風用空氣過濾器
■ PIC/s PI 032-2 GMP指南
■ 高效微粒空氣過濾器/超微粒空氣過濾器制造商使用的EN1822
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