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潔凈室驗(yàn)收及檢測設(shè)備、方法全介紹

潔凈室又可稱作無塵室(Cleanroom),通常用作專業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學(xué)研究的一部分,包括制造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計(jì)是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說,潔凈室有一個(gè)受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來規(guī)定。潔凈室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參
產(chǎn)品描述
檢測指標(biāo)

潔凈室驗(yàn)收及檢測項(xiàng)目

風(fēng)量或風(fēng)速、室內(nèi)靜壓差、空氣潔凈度等級(jí)、換氣次數(shù)、室內(nèi)浮游菌和沉降菌、溫度和相對(duì)濕度、平均速度、速度不均勻度、噪聲、氣流流型、自凈時(shí)間、污染泄露、照度(照明)、甲醛、細(xì)菌濃度。

1、醫(yī)院潔凈手術(shù)部風(fēng)速、換氣次數(shù)、靜壓差、潔凈度級(jí)別、溫濕度、噪聲、照度、細(xì)菌濃度。

2、醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對(duì)濕度、照度、噪聲、自凈時(shí)間、已安裝過濾器泄漏、浮游菌、沉降菌。

3、電子工業(yè)潔凈廠房:空氣潔凈度等級(jí)、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量、氣流流型、溫度、相對(duì)濕度、照度、噪聲、自凈時(shí)間。

4、食品工業(yè)潔凈用房:定向氣流、靜壓差、潔凈度、空氣浮游菌、空氣沉降菌、噪聲、照度、溫度、相對(duì)濕度、自凈時(shí)間、甲醛、Ⅰ級(jí)工作區(qū)截面風(fēng)速、開發(fā)的洞口風(fēng)速、新風(fēng)量。

潔凈室竣工驗(yàn)收

潔凈室竣工以后和投產(chǎn)后,都需要進(jìn)行性能測定和驗(yàn)收;在系統(tǒng)大修或更新時(shí),也要進(jìn)行全面測定,在測定前對(duì)潔凈室的概況必須全面了解。

主要內(nèi)容包括凈化空調(diào)系統(tǒng)和工藝布置的平、剖面圖及系統(tǒng)圖對(duì)空氣環(huán)境條件潔凈度級(jí)別溫、濕度風(fēng)速等的要求空氣處理方案送回風(fēng)、排風(fēng)量及氣流組織人、物凈化方案潔凈室的使用情況廠區(qū)及其周圍污染情況等。

(一)潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求

1、各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。

2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。

3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。

4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。

5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。

6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動(dòng)力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時(shí)穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。

7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。

潔凈室環(huán)境控制

潔凈室中對(duì)環(huán)境的控制主要有八個(gè)項(xiàng)目,根據(jù)達(dá)成的先后和邏輯順序,排列如下:

其中照度、噪音會(huì)影響工作人員的舒適性;潔凈度、正壓、靜風(fēng)電阻、FFU泄露會(huì)影響到半導(dǎo)體制程;溫濕度既會(huì)影響人員的舒適性又會(huì)影響到制程。特定生產(chǎn)制程,對(duì)溫濕度有較高要求,而潔凈度會(huì)影響制程良率。因此在日常運(yùn)行中,IPQC會(huì)針對(duì)潔凈度和溫濕度進(jìn)行管控。

一般來講,空氣中含灰塵微粒濃度高則空氣潔凈度低,含灰塵微粒濃度低則潔凈度高。潔凈度的高低可以用潔凈度等級(jí)來區(qū)分。潔凈度級(jí)別則以每立方米空氣中的允許微粒數(shù)來確定。ISO-14644是國際標(biāo)準(zhǔn),現(xiàn)在美國、歐洲、日本、俄羅斯和我國都采用此標(biāo)準(zhǔn)。美國原來應(yīng)用的是美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209A、B、C、D、E,現(xiàn)在美國也不用了。原來我們熟悉的100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)和100000級(jí)都是源自美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209B。根據(jù)ISO 14644系列國際標(biāo)準(zhǔn),潔凈室可分為九個(gè)等級(jí),從1級(jí)到9級(jí),其中1級(jí)潔凈度最高,9級(jí)最低。

ISO-14644的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)如下:

圖片

其中,1級(jí)和2級(jí)潔凈室通常用于制造高精度產(chǎn)品,如硬盤驅(qū)動(dòng)器和電子設(shè)備等。這些潔凈室的控制要求非常高,需要嚴(yán)格控制空氣中的懸浮粒子濃度和溫度。3級(jí)到8級(jí)潔凈室適用于不同行業(yè)的制造過程,例如半導(dǎo)體制造、制藥和醫(yī)療器械制造等。這些潔凈室的控制要求各不相同,但都需要保持空氣中的懸浮粒子濃度和溫度在規(guī)定的范圍內(nèi)。9級(jí)潔凈室是最不嚴(yán)格的等級(jí),通常用于不需要高度控制環(huán)境的情況,例如倉庫和辦公室等。

潔凈室環(huán)境檢測依據(jù)

包括規(guī)范、圖紙、設(shè)計(jì)文件和設(shè)備的技術(shù)資料等,分以下二類。

1、設(shè)計(jì)類設(shè)計(jì)文件、設(shè)計(jì)變更的證明文件及有關(guān)協(xié)議、竣工圖。

2、設(shè)備的技術(shù)資料。

3、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50073-20012、施工安裝類《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50243-2002




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